Browsing by Author "HAFSI ZOULIKHA"

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    Etude du comportement du faisceau d’électrons dans un MEB à pression variable – Conséquences sur les électrons rétrodiffusés
    (2018-04-30) HAFSI ZOULIKHA; Encadreur: KADOUN ABD DAIM
    الملخص (بالعربية) المجهر الإلكتروني (MEB بالفرنسية أو SEM باللغة الإنجليزية) هو أداة أساسية لمعرفة خصائص المواد. ومع ذلك، فإن مراقبة العينات تقتصر فقط على المواد المعدنية الناقلة ، فالمواد لايمكن الكشف عنها الا اذا كان سطحها مطلي بمادة معدنية . وقد أدت عدم إمكانية كشف العينات الطبيعية غير المعدنية لإضافة مجاهر الكترونية تعمل بتغيير الضغط من بينها المجهر الالكتروني ذو الضغط المتغير بالفرسية (MEB à pression variable) ، الهدف الرئيسيي من التصوير الإلكتروني هو ايجاد حلول لتدهور البيانات التحليلة المكانية الذي يتم تحديده من خلال حجم التفاعل .الهدف من هذا البحث هو (1) دراسة اتساع ومدى ىتاثير الحزمة الإلكترونية المتناثرة. (2) تطوير منهجية جديدة لحل مشكل الانبعاثات الالكترونية المسماة skirt والكشف عن اثر الإلكترونات االمرتدة (BSE). وتتجلى فعالية هذه الدراسة من خلال قدرتها على قياس تاثيرات بعض العوامل على تدهور التحليلية المكانية لإلكترونات االمرتدة(BSE). وعلاوة على ذلك، أدخلنا نهجا جديدا لتحديد مجموعة لقيم الضغط التي تضمن التقليل من مشكل تدهور البيانات التي تنتج عن الإلكترونات االمرتدة (BSE) مهما كانت المادة (العينة) والغاز Résumé (Français et/ou Anglais) : La microscopie électronique à balayage (MEB ou SEM en anglais) est un outil essentiel de caractérisation des matériaux. Cependant, l’observation des échantillons est limitée à des objets conducteurs et, si ce n’est pas le cas, la surface doit être au préalable métallisée. La possibilité de caractériser en SEM des échantillons naturels non métallisés ou n’importe quel échantillon a conduit plusieurs fabricants à ajouter une nouvelle dimension à la microscopie électronique : c’est le SEM à pression variable (VPSEM). Cependant, l’imagerie en mode électron rétrodiffusé rencontre un défi majeur en ce qui concerne la diffusion du faisceau d'électrons primaires par les atomes/molécules du milieu gazeux. Ce phénomène de diffusion (skirt) conduit à l'apparition de plusieurs artéfacts au-delà de ceux qui sont familiers dans un MEB conventionnel. Le principal artéfact reconnu est la dégradation de la résolution spatiale qui est délimitée par le volume d'interaction. Les objectifs de la recherche rapportés ici sont les suivants: (1) étudier l’élargissement et l'étendue de la fraction du faisceau d'électrons diffusée. (2) le développement d'une méthodologie originale et nouvelle, afin de faire face à l'effet du skirt sur l’émission et la détection des électrons rétrodiffusés (BSE). L'efficacité de cette étude est démontrée par sa capacité à quantifier les effets de certains paramètres sur la dégradation de la résolution spatiale des BSE. En outre, nous avons introduit une nouvelle approche pour déterminer la gamme de pression de fonctionnement qui assure une dégradation minimale de la résolution latérale en mode BSE pour n’importe quel matériau donné et un gaz donné.